除泡機的新型真空壓力控制系統主要包括高壓氣源、電動(dòng)調節閥、真空壓力傳感器、雙向控制器和真空泵等,其真空壓力控制基于動(dòng)態(tài)平衡法,即通過(guò)調節進(jìn)入和流出除泡烤箱的氣體流量實(shí)現真空和壓力的準確控制。當進(jìn)行真空控制時(shí),自動(dòng)減小進(jìn)氣調節閥開(kāi)度但增大出氣調節閥開(kāi)度;當進(jìn)行壓力控制時(shí),自動(dòng)增大進(jìn)氣調節閥開(kāi)度但減小出氣調節閥開(kāi)度。由此可實(shí)現真空壓力的全量程自動(dòng)平滑控制。
此新型的除泡機真空壓力控制系統主要有以下功能和特點(diǎn):
(1)采用通徑為10mm的快速電動(dòng)球閥,工作壓力1MPa以下,極小的真空漏率,開(kāi)關(guān)速度小于7秒,0~10V模擬控制信號,這樣既可以快速抽取真空和加載高壓氣體,又能進(jìn)行快速調節實(shí)現真空壓力的穩定控制。
(2)采用了真空和壓力雙傳感器,可以覆蓋真空壓力的全量程測量和控制。
(3)采用具有分程控制功能的雙向PID控制器實(shí)現進(jìn)氣和出氣閥門(mén)的同時(shí)調節,可在真空壓力全量程范圍內進(jìn)行自動(dòng)控制。
(4)PID控制器具有雙傳感器自動(dòng)切換功能,可根據控制要求自動(dòng)選擇相應的傳感器。
(5)PID控制器具有可編程功能,可支持20條工藝曲線(xiàn)??刂破骶哂蠵ID參數自整定功能,支持20組分組PID參數。
(6)PID控制器具有RS485通訊接口和標準的MODBUS協(xié)議,可與上位機連接。自帶的控制軟件可直接運行控制器,并設置、數字顯示、曲線(xiàn)顯示和存儲控制器參數的變化過(guò)程。
臺灣ELT作為除泡機品類(lèi)開(kāi)創(chuàng )者,深耕半導體先進(jìn)封裝技術(shù)20余年,專(zhuān)注解決半導體先進(jìn)封裝中的氣泡問(wèn)題,提供多種制程工藝中的氣泡整體解決方案。對Mini/Micro LED、芯片貼合Die Attached、灌注灌封IGBT Potting、底部填膠underfill、點(diǎn)膠封膠Dispensing、OCA lamination等工藝擁有成熟應用經(jīng)驗。想了解更多ELT除泡機信息,請在線(xiàn)或來(lái)電咨詢(xún)15262626897